專門為一些超高壓工況研發(fā)設計的一款超高純氣體過濾器主要用于壓縮機前置或后置氣體的過濾,對于超純氣體過濾可通過多級處理滿足工況要求,產(chǎn)品無焊接部位,耐壓性能、安全系數(shù)極高,適用于高壓工況下的氣體及液體過濾,體積小,安裝方便,為高壓運行系統(tǒng)提供了相當高的技術(shù)和經(jīng)濟優(yōu)勢。產(chǎn)品應用范圍廣,與大多數(shù)高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性;微納米顆粒過濾能力保持高流量效率,超小壓降。
超純氣體指純度高于99.99%的氣體,是一種高純化學試劑。為適應一些科學研究和尖端技術(shù)的特殊需要而制備。一些對氣體要求特別純凈的部門,需要超純氣體的純度高達99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數(shù)應小于三個。