半導(dǎo)體精密過濾壓縮空氣氨氣濾芯納米級(jí)過濾器潔凈氣體過濾器

• HF系列高壓氣體專用過濾器，用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合，兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔?，保護(hù)系統(tǒng)免受污染，從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運(yùn)行。濾芯可更換，維護(hù)簡便。

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