氣體過(guò)濾使用點(diǎn)專用氣體過(guò)濾器|半導(dǎo)體超純大流量氣體過(guò)濾器

• OF系列在線式專用氣體過(guò)濾器，專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)，過(guò)濾精度高達(dá)0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒，在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過(guò)濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

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